復(fù)合式無塵車間的有點(diǎn)體現(xiàn)在哪里：

　　復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%籠蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)進(jìn)步至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之 工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。

　　潔凈地道另有二項(xiàng)長(zhǎng)處：A.彈性擴(kuò)充輕易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。

　　(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動(dòng)出產(chǎn)線包抄并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔 凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化出產(chǎn)線為最相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均合用。

        (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)進(jìn)步為10~1000級(jí)以上，認(rèn)為出產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。